◆工作溫度： 300~1200℃
◆有效口徑根據(jù)用戶擴(kuò)散片確定，可訂制
◆恒溫區(qū)長度： 920mm-1350mm（可根據(jù)用戶要求定制）
◆溫區(qū)精度 (靜態(tài)閉管測試)：
     600℃＜工作溫度＜1200℃： ±0.5℃
     300℃≤工作溫度≤600℃： ±1℃
◆單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性(靜態(tài)閉管測試)：
     600℃＜工作溫度＜1200℃： ±0.5℃/24h
     300℃≤工作溫度≤600℃： ±1℃/24h
◆溫度斜變能力：
     大可控升溫速度(300～1300℃)：15℃/min
     大降溫速度(1300～900℃)： 5℃/min
◆氣體流量設(shè)定精度： ±0.5％FS
◆氣路系統(tǒng)氣密性： 1×10-7pa.m3/s
◆自動送料裝置行程： ~2000mm
     速度： 5~1000mm/min，SiC漿承重 20kg
◆裝片數(shù)量 400片/管
◆凈化臺潔凈度 100級（10000級廠房）
◆三相五線制 380V±10%，50Hz±10%Hz；
◆冷卻水： 2～4Kgf/cm2，～8L/min