主要技術參數(shù)

◆結構型式：臥式熱壁型

◆工作溫度范圍：300～1280℃

◆恒溫區(qū)長度及精度：±0.5℃/1080mm

◆氣體流量設定精度:±1％F.S

◆氣路系統(tǒng)氣密性： 1×10-7pa.m3/s

◆工藝均勻性:≤±5％（30~60歐姆）

◆控制方式： 工業(yè)微機控制

◆記錄工藝曲線數(shù)量及工藝步數(shù)不受限制